大阪市都市工学情報2次情報集 [論文情報]
整理番号88F0001598
原語日本語
執筆年1987
和文標題第6回半導体超純水国際会議に参加して
英文標題-
著者名西村正人、小山清
団体著者名-
所属機関名大阪市立工業研究所
資料名工業用水
ページPAGE.22‐36
ジャンル浄水処理,工業研究,国際会議
抄録文1987年1月15日(木)~16日(金)の両日にわたり,米国カリフォルニア州のSanta Claraで開催された第6回半導体超純水国際会議に参加して,この分野における世界の最新情報を収集した。とくに今回の国際会議では,最も解決を迫られている超純水中の微量有機物の同定と除去技術,脱塩用イオン交換樹脂の劣化と塔床からの微量有機物の漏出とその対応,超純水システムに用いられるパイプ,バルブその他周辺機材の材質の問題,超純水製造システムの各プロセスの再検討ならびにオンラインでの超純水の各種水質分析評価技術などが重点的に取上げられた。2日間で世界の第1線の専門家による13件の実例にもとづく研究発表とイオン交換に関するパネル討論が行われた。また併催された展示会では,全世界の63社の関連企業から,この1年間に開発された最新の超純水システム,新製品,新技術の展示紹介があった。これらの国際会議の内容と展示会の概要を紹介した