| 整理番号 | 88F0001598 |
|---|---|
| 原語 | 日本語 |
| 執筆年 | 1987 |
| 和文標題 | 第６回半導体超純水国際会議に参加して |
| 英文標題 | - |
| 著者名 | 西村正人、小山清 |
| 団体著者名 | - |
| 所属機関名 | 大阪市立工業研究所 |
| 資料名 | 工業用水 |
| ページ | ＰＡＧＥ．２２‐３６ |
| ジャンル | 浄水処理,工業研究,国際会議 |
| 抄録文 | １９８７年１月１５日（木）～１６日（金）の両日にわたり，米国カリフォルニア州のＳａｎｔａ Ｃｌａｒａで開催された第６回半導体超純水国際会議に参加して，この分野における世界の最新情報を収集した。とくに今回の国際会議では，最も解決を迫られている超純水中の微量有機物の同定と除去技術，脱塩用イオン交換樹脂の劣化と塔床からの微量有機物の漏出とその対応，超純水システムに用いられるパイプ，バルブその他周辺機材の材質の問題，超純水製造システムの各プロセスの再検討ならびにオンラインでの超純水の各種水質分析評価技術などが重点的に取上げられた。２日間で世界の第１線の専門家による１３件の実例にもとづく研究発表とイオン交換に関するパネル討論が行われた。また併催された展示会では，全世界の６３社の関連企業から，この１年間に開発された最新の超純水システム，新製品，新技術の展示紹介があった。これらの国際会議の内容と展示会の概要を紹介した |